洁净室等级标准
洁净室等级标准和国际标准ISO 14644一样,都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级
ISO分级 | 大于等于表中所列粒径县浮粒子最大允许浓度(颗/m3) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0. 3μm | 0. 5 μm | 1 μm | 5 μm | |
IS01 级 | 10 | 2 | ||||
IS02 级 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
IS03 级 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO4级 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
IS05 级 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
IS06 级 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
IS07 级 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
IS08 级 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
IS09 级 | 35200000 | 8320000 | 293000 |
安装粒子计数器的必要性
1、标准对在线监测的要求。新版GMP在硬件要求方面,提高了部分生产条件的标准,增加了在线监测的要求,特别对悬浮粒子,也就是生产环境中的悬浮微粒的静态、动态监测,对浮游菌、沉降菌(生产环境中的微生物)和表面微生物的监测都作出了详细的规定。
2、实现智能自动控制,无需人工参与。在线粒子计数器,能够实时监测洁净室内悬浮颗粒的个数并及时报警;并具备能够与FFU风机等净化设备智能联动的功能,始终将环境内悬浮粒子个数维持在标准要求的较低范围内,这样做其能耗及设备损耗会控制在较低水平。
3、覆盖整个生产过程,降低污染风险。7*24小时的连续不间断监测,最大程度保证产品在全流程生产工序中免受污染,提升产品质量。
粒子计数器原理:粒子计数器通过采样泵抽取采样气体,在激光室中,通过激光照射采样气体,颗粒反射出来的闪光的频率,代表颗粒的数量,反射的光强,代表颗粒的粒径大小。
MIC3000-PC在线粒子计数是基于激光散射原理,采用工业级长寿命耐高温线性激光器,车规级大流量涡轮风扇,能够稳定、可靠、精准地显示0.3μm以上的粒子个数,支持485通讯,可远距离监控作业环境的粉尘浓度变化情况。
产品特点
同时输出0.3、0.5、1.0、2.5、5.0、10μm六通道粒子个数
三种单位可选:pcs/L、pcs/m3、pcs/28.3L
恒功率线型激光器,精准识别
满足JJF1190-2008标准
恒流采样,长期运行稳定性高
产品尺寸:320mm宽*120mm厚*520mm高
技术参数
检测范围 | ≥0.3μm: 0 ~ 999,999 pcs/L |
输出通道 | 0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5.0μm、10μm |
计数效率 | 50%@0.3μm 100%@≥0.5μm (以TSI9306作为参考,25℃±2℃,50±10%RH环境条件) |
工作温度 | -30°C~70℃ |
存储温度 | -40°C~85℃ |
工作电压 | AC220V或DC24V |
波特率 | 9600 |
通讯方式 | RS-485、RJ45,可选配DTU、4G、4-20mA等 |